在 FED-STD-2里面,无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
和工作区高度的水平面各一个,剖面上的测点间距为0.2m~0.5m,水平面上测点间距为0.5m~1m。两个风口之间的中线上应有测点。 2:测定方法:用发烟器或悬挂单丝线的方法逐点观察和记录气流流向,并可用量角器量出角度,发烟源可用超声波雾化(0.5um~50um水雾)的去离子(DI)水、喷射方法生成的乙醇或二醇、固态二氧化碳(干冰)等,在高强度光源下示踪。在确保对人和物无伤害时可以四氯化钛(TiCl4)作示踪粒子。
大多数的验收标准是由无尘车间的业主和承建商通过协商,并参考专业无尘车间测试认证公司的建议而达成的协议。由于独立的第三方测试认证公司通常能对于无尘车间的测试提出适合的方案,因此中建南方建议业主和承建商在开始讨论无尘车间的各种技术参数,测试方式和验收标准时就邀请测试认证公司参与。在对有关参数或标准产生分歧时,测试认证公司将以自己的专业知识在业主和承建商之间起到调解人的作用。
在无尘车间的建造合同中通常只指定了基本的空态测试,而静态和动态测试常常因为紧张的工期而被遗漏。但我们仍建议承建商和业主在静态和动态条件下都对无尘车间进行测试。这将确保无尘车间的建造符合设计要求。静态和动态两种不同条件下测试结果的对比将对分析无尘车间所存在的问题提供很有效的帮助。例如:在静态条件下洁净度达标而到了动态条件下却超标。这可能是因为糟糕的无尘车间管理:安装机器时不规范的清洁,不恰当的清洁程序,不严格的纪律管理,不正确的机器放置位置(挡住了回风口或阻断了过滤器的送风)等。因此,我们建议在空态和动态时都要对无尘车间进行测试。