异物分析是通过对产品中出现的异物杂质或未知物进行成分分析，借此寻找和追踪异物产生的原因和来源并进而避免异物的产生。

现在行业内异物分析测试涉及三个方面。

一是表面观察，主要用光学显微镜(OM）和电子显微镜(SEM)等；

二是异物的大多数有机物结构和部分无机结构分析，主要用傅里叶变换红外光谱仪 (FTIR)；

三是异物或材料表面的元素成分分析，主要用电子探针X射线微区分析(EPMA)、扫描电子显微镜/能谱仪(SEM/EDS)和X射线光电子能谱分析(XPS)等。