光学微电子净化工程解决方案:
净化工程的设计过程中,应加强对光学微电子行业净化工程设计方案分析了解,根据该工程是新建工程或者是旧厂房改造工程,并结合其具体的生产工艺、生产流程等要求确定其需要的洁净度、温湿度。再根据该工程的具体情况,同时还要考虑到生产厂家的经济承受能力,综合各种因素来确定采用何种净化方案,这样才可设计出一个能满足甲方生产使用要求、工程造价合理、经济节能实用的方案。
洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室。
(1)天花板系统:包括吊杆(Ceiling rod)、钢梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。
(2)空调系统:包括空气舱、过滤器系统、风车等。
(3)隔墙板:包括窗户、门。
(4)地板:包括高架地板或防静电舒美地板。
(5)照明器具:包括日光灯、黄色灯管等。
洁净室之建筑主体构造,一般是用钢筋或骨水泥,但无论是何种构造,必须满足如下之条件:
(1)不会因温度变化与振动而发生裂痕。
(2)不易产生微尘粒子,且很难附着粒子。
(3)吸湿性小。
(4)为了维持室内之湿度条件,热绝缘性要高。
进入洁净区的空气,经过初效(又称粗效)、中效、三级过滤器过滤,使空气达到所要求的洁净级别。由于过滤器可以滤除市场上有很多集成吊顶。集成吊顶将灯、排风扇、浴霸等产品集合在一个吊顶内,一般都是由某个产品的厂商来推动,集设计、服务、安装等一体,产品质量有保证,而且对空间的顶面设计可以根据房间的功能分区有效地对空间进行分隔,让光源在有限的范围内发挥效果。相比普通的吊顶,集成吊顶美观时尚,十分有效。